En MEMS mikrovärmd platta baserad på sidokomposit dielektrisk film och dess tillverkningsmetod och tekniska realiseringselement

Tekniska implementeringselement:

4. Med hänsyn till ovanstående tekniska problem tillhandahåller föreliggande uppfinning en mems mikrovarm platta baserad på en tvärgående sammansatt dielektrisk film och en tillverkningsmetod därav.

5. Syftet med föreliggande uppfinning är att tillhandahålla en mikrovarm platta av platt typ med låg lateral värmeledningsförlust, hög effektförbrukningseffektivitet för mikrovarmplattan och låg mekanisk deformation orsakad av termisk stress, vilket uppfyller kraven som t.ex. som låg strömförbrukning, låg deformation, höga krav på stabilitet och tillförlitlighet.

6. det tekniska schemat som föreliggande uppfinning löser det ovan nämnda tekniska problemet är som följer:

7. En mems mikrovarm platta baserad på en tvärgående sammansatt dielektrisk film, varvid mikrovarmplattan består av ett komposit dielektriskt skikt, ett kiselbaserat substrat, ett isoleringsstödskikt, en värmeelektrod, en signalelektrod och en dyna, och ett ryggetsningsområde;

8. Det kiselbaserade substratet är en bas för tillverkning av en mikrovarm platta;

9. Isoleringsstödskiktet är placerat ovanför det kiselbaserade substratet, som används för isolering, reducering av värmeförlust och ger stöd för elektroduppvärmningsområdet och signalmätområdet;

10. Värmeelektroden är anordnad ovanför isoleringsstödskiktet, och värmeelektroden genererar ett värmeområde för att tillhandahålla den erforderliga arbetstemperaturen för den mikrovarma plattan;

Kontakta oss:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894