En sorts MEMS mikrovärmd platta baserad på dielektrisk lateral kompositfilm och dess tillverkningsmetod

En sorts MEMS mikrovarmplatta baserad på tvärgående komposit dielektrisk film och dess tillverkningsmetod

tekniskt område

1. Föreliggande uppfinning hänför sig till det tekniska området av mems, i synnerhet till en mems mikrovarmplatta baserad på en tvärgående sammansatt dielektrisk film och en tillverkningsmetod därav.

Bakgrundsteknik:

2. Mikrokokplattor baserade på mems-processen har visat sig ha fördelarna med miniatyrisering, låg strömförbrukning, snabb termisk respons och enkel integration, och används ofta i mikrogassensorer, mikrogasflödesmätare, infraröda sändare och mikrotermometrar. Till exempel, när en mikrovarmplatta används för en mikrogassensor, påverkas mikrogassensorns prestanda av dess driftstemperatur och mekaniska stabilitet. Vanligtvis måste mikrovarmplattan som används för en mikrogassensor ge en jämn temperatur på 150 grader till 400 grader och bra. Den mekaniska stabiliteten hos mikrovärmplattan kräver att uppvärmningshastigheten för mikrovarmplattan är snabb och jämnt fördelat. För att kunna integreras i mobila enheter måste mikrovärmeplattor minska strömförbrukningen så mycket som möjligt och ge en lämplig temperatur, samtidigt som god temperaturlikformighet, mekaniska egenskaper och uppvärmningshastighet, vilket har blivit en hot spot inom området för forskning om mikrohotplates.

3. Den plana mikrovarmplattan med strömmembran använder i allmänhet sio2, si3n4 eller sio2, si3n4 filmer kombinerade i en vertikal riktning för att bilda ett stödskikt och ett dielektriskt skikt. Den låga värmeledningsförmågan hos den mikrovarma plattan som endast använder sio2-material är lätt att öka värmeförlusten och orsaka termisk deformation vid hög temperatur. Mikrovarmplattan som endast använder si3n4-material kan lindra den termiska deformationen vid hög temperatur och öka uppvärmningshastigheten, men den höga värmeledningsförmågan Egenskaperna hos sio2 och si3n4 leder till en ökning av lateral värmeförlust och deformationen av värmeplattan sammansatt av sio2 och si3n4 filmer kombinerade i vertikal riktning reduceras, men den laterala värmeförlusten existerar fortfarande. Dessa faktorer leder till en större värmeledningsförlust och högre energiförbrukning för mikrokokplattan av platt typ än mikrokokplatta av hängbrotyp. Emellertid är de allvarliga problemen med mikrovarmplattan av hängbrotyp stor deformation, lätt skada och inkompatibilitet med andra processer i det senare skedet, vilket resulterar i lågt utbyte, låg stabilitet och tillförlitlighet för anordningsberedning baserad på denna typ av mikro -varm tallrik.

Kontakta oss:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894