Mikroelektromekanisk anordning och dess tillverkningsmetod och tekniska realiseringselement

Tekniska implementeringselement:

4. Med hänsyn till ovanstående problem föreslås föreliggande uppfinning. Föreliggande uppfinning tillhandahåller en ny membrananordningsstruktur, som kan undvika användningen av fribärande balkar, har högre hållbarhet och har en enklare struktur. Föreliggande uppfinning tillhandahåller också en ny tillverkningsmetod för mems-anordningen, vilken har enkla processsteg och kan förbättra tillverkningsutbytet.

5. Enligt en exemplifierande utföringsform kan en mikroelektromekanisk anordning innefatta: ett isolerande substrat; en stödstolpe anordnad på substratet, varvid stödstolpen uppbär en provmassa; omger substratet på substratet. Ett eller flera par av elektrodplattor anordnade på massblocket, varje par av elektrodplattor är anordnade på motsatta sidor av massblocket; och en isolerande täckplatta, på vilken ett par elektrodplattor motsvarande ett eller flera par av elektrodplattor är anordnade eller flera par av elektroder, när täckplattan täcker ett eller flera par av elektrodplattor, det ena eller flera paren av elektrodplattor. elektroderna är i elektrisk kontakt med ett eller flera par av elektrodplattor.

6. I vissa utföringsformer är stödstolpen, provmassan och ett eller flera par av elektrodplattor bildade av ett ledare- eller halvledarmaterial, och ledande ledningar anslutna till stödstolpen är anslutna från ena sidan av substratet. Lead out, de ledande ledarna som är anslutna till ett eller flera elektrodpar leds ut från ena sidan av täckplattan.

7. I vissa utföringsformer är täckplattan utformad med en öppning mellan ett eller flera elektrodpar för att exponera stödstolpen och provmassan.

8. I vissa utföringsformer är höjden på provmassan lägre än höjden på ett eller flera par av elektrodplattor.

9. I vissa utföringsformer används den mikroelektromekaniska anordningen som en accelerometer och ett eller flera par av elektrodplattor används för att mäta förändringar i kapacitans på grund av förändringar i bevismassans position.

10. I vissa utföringsformer används den mikroelektromekaniska anordningen som ett gyroskop, och ett eller flera par av elektrodplattor inkluderar åtminstone ett första par elektrodplattor och ett andra par elektrodplattor, det första paret elektrodplattor för A-drift signalen appliceras för att driva provmassan att oscillera mellan det första paret elektrodplattor, och det andra paret elektrodplattor används för att mäta förändringar i kapacitans på grund av förändringar i positionen för provmassan.

Kontakta oss:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894