Tillverkningsmetod för MEMS-enhet
Sep 16, 2022
Lämna ett meddelande
tekniskt område
1. Föreliggande beskrivning avser en mems-anordning med förbättrad spänningsfördelning.
Bakgrundsteknik:
2. Såsom är välkänt är mems ("Micro Electro Mechanical Systems") elektroniska anordningar, såsom ställdon och/eller sensorer, typiskt utformade på ett substrat som inrymmer en kavitet och inkluderar rörliga strukturer upphängda från kaviteten ovanför och begränsade av elastiken. element till det fasta området. Substratet, den rörliga strukturen och det elastiska elementet kan vara i ett stycke och är typiskt utformade av ett halvledarmaterial såsom kisel.
3. Dessa elektroniska anordningar inkluderar även: en eller flera aktiverings- och/eller detekteringsstrukturer, kopplade till den rörliga strukturen; och elektriska styrkretsar, integrerade i samma substrat eller bildade i olika substrat och koppling till aktiverings- och/eller detekteringsstrukturen kan tillhandahålla elektriska drivsignaler till aktiveringsstrukturen och/eller ta emot elektriska detekteringssignaler från detekteringsstrukturen.
4. I detalj kan manöverstrukturen orsaka förskjutning, t.ex. rotation, av den rörliga strukturen när den styrs av en motsvarande elektrisk drivsignal. På liknande sätt är detekteringsstrukturen konfigurerad att generera motsvarande elektriska signaler som är en funktion av driftsförhållandena för den rörliga strukturen, och till exempel en funktion av den rörliga strukturens rotationsintervall.
5. Den elektriska styrkretsen och aktiverings- och/eller detekteringsstrukturen är typiskt elektriskt anslutna till varandra genom ledande spår, t.ex. bildade av en stapel av ledande skikt.
6. Ledande skenor sträcker sig vanligtvis över fasta områden, elastiska element och ibland delvis över rörliga strukturer.
7. Vid användning resulterar förskjutning av den rörliga strukturen i deformation, t.ex. vridning, av de elastiska elementen som begränsar den rörliga strukturen till det fasta området.
Kontakta oss:
Email: zhang@pride-cnc.com
Tel: plus 86-755-23699351
Mob: plus 8618666663894