Metod för framställning av en mikromekanisk komponent för en sensoranordning eller en mikrofonanordning

Tekniska implementeringselement:

3. Föreliggande uppfinning föreslår en mikromekanisk komponent för en sensoranordning eller en mikrofonanordning med särdragen i patentkrav 1, och ett förfarande för framställning av en mikromekanisk komponent för en sensoranordning eller en mikrofonanordning med särdragen i krav 5.

4. Uppfinningens fördelar

5. Konstruktionen enligt uppfinningen baserad på minst ett offerlager av minst ett elektriskt isolerande offerlagermaterial av den av uppfinningen föreslagna mikromekaniska komponenten och samma. Utformningen enligt uppfinningen av minst ett isolerande område tillverkat av kl. minst ett elektriskt isolerande material av det isolerande offerskiktsmaterialet, för att konfigurera håligheten hos den mikromekaniska komponenten, kan en process som är lämplig för att delvis avlägsna det minst ett offerskiktet utföras utan att du behöver oroa dig för att skada eller ta bort minst ett område med isolering. Uppfinningen gör det sålunda enkelt att utrusta motsvarande mikromekaniska komponent enligt uppfinningen med minst ett isolerande område som med fördel är lämpligt för att elektriskt isolera elektrodstrukturen från membranet, mellan membranmaterialskiktet och elektrodmaterialskiktet. elektriskt isolera och/eller separera åtminstone ett restområde av åtminstone ett offerskikt från kaviteten. Uppfinningen förbättrar således den mikromekaniska komponenten enligt uppfinningen jämfört med känd teknik och bidrar dessutom till att reducera arbetskostnaderna och den mikromekaniska komponenten enligt uppfinningen för framställning av den mikromekaniska komponenten enligt uppfinningens tillverkningskostnad.

6. Det åtminstone ena isolerande området för att separera det åtminstone ena restområdet av det åtminstone ett offerskiktet kan i synnerhet fungera som ett "etsskydd" mot oönskad etsning av det åtminstone ena restområdet under konstruktionen av kaviteten. Samtidigt uppnås åtminstone ett isolerande område konstruerat av åtminstone ett elektriskt isolerande material för att separera det åtminstone ena restområdet.

Kontakta oss:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894