Design och beredningsmetod för PMUT med isoleringsdike

Design och beredningsmetod för en pmut med isoleringsdike

tekniskt område

1. Föreliggande uppfinning hänför sig till det tekniska området för pmut, i synnerhet till en design- och beredningsmetod för en pmut med en isoleringsdike.

Bakgrundsteknik:

2. MEMS-teknologi är en mikroskalig mekatroniksystemteknik som utvecklats under de senaste decennierna. Baserat på mems-teknologi designade og tillverkade forskarna en mikrobearbetad ultraljudsgivare. Jämfört med traditionella ultraljudsgivare har den fördelarna med miniatyrisering, integration, hög prestanda och låg kostnad, och har blivit en av de viktiga forskningsriktningarna för ultraljudsgivare. Enligt arbetsprincipen kan mut delas in i kapacitiva mikrobearbetade ultraljudsgivare och piezoelektriska mikrobearbetade ultraljudsgivare. cmut kräver vanligtvis en hög DC-förspänning för att möta hög sändnings- och mottagningskänslighet, vilket orsakar vissa svårigheter för kretsdesign och integration och enhetstillverkning. cmut kräver vanligtvis en hög DC-förspänning för att möta hög sändnings- och mottagningskänslighet, vilket Det orsakar vissa svårigheter för kretsdesign och integration och enhetstillverkning. Jämfört med cmut kräver inte pmut hög spänning för att få hög känslighet och har liten inverkan på parasitisk kapacitans, låg strömförbrukning och är lätt att integrera med cmos-kretsar. Grundprincipen för pmut är främst den piezoelektriska effekten. När den piezoelektriska kristallen deformeras genom att applicera en yttre kraft i en specifik riktning, kommer positiva och negativa motsatta laddningar att genereras på de två motsatta ytorna av kristallen, vilket kallas den positiva piezoelektriska effekten; och när ett elektriskt fält appliceras i kristallpolarisationsriktningen kommer det att orsaka att kristallen deformeras och kristallen återgår till sin ursprungliga form efter att det elektriska fältet har tagits bort. Detta fenomen kallas den omvända piezoelektriska effekten. När pmut används som sändare gör spänningen mellan de övre och nedre elektroderna att det piezoelektriska lagret får en omvänd piezoelektrisk effekt, som genererar högfrekventa vibrationer och sedan utstrålar ultraljudsvågor; när det används som mottagare, verkar ljudtrycket på det piezoelektriska lagret, vilket resulterar i deformation. På grund av den positiva piezoelektriska effekten orsakar en elektrisk signal att genereras mellan de övre och nedre elektroderna. Grundstrukturen för pmut är en typisk suspenderad filmstruktur, det piezoelektriska skiktet är mellan de övre och nedre elektrodskikten, och det nedersta substratet är i allmänhet ett isolerande substratkisel (kisel-på-isolator, soi). Det isolerande skiktet är vanligtvis kiseldioxid (sio2). Huvudfunktionen i arbetsprocessen är den suspenderade filmstrukturen som består av den övre elektroden, det piezoelektriska skiktet, det undre elektrodskiktet och det isolerande skiktet.

Kontakta oss:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894