Tredimensionell förpackningsenhet av MEMS-sensor och tredimensionell förpackningsmetod och processteknik Realiseringselement

Tekniska implementeringselement:

5. Det tekniska problemet som skall lösas med föreliggande uppfinning är: för att övervinna bristerna med känd teknik, tillhandahålls en tredimensionell förpackningsanordning för mems-sensorn.

6. Den tekniska lösning som används av föreliggande uppfinning för att lösa de ovan nämnda problemen är: en tredimensionell förpackningsanordning för en mems-sensor, innefattande en arbetsbänk, och ett spår är fast anordnat ovanpå arbetsbänken, och spåret är anordnad parallellt med vänster och höger riktning, och spåret En lins är anordnad strax ovanför toppen, och linsen är fast ansluten till arbetsbordet, en substrattransportanordning och en rengöringsanordning är anordnade på spåret, en monteringsanordning är anordnad ovanför spåret, och monteringsanordningen är placerad på höger sida av rengöringsanordningen. sida;

7. Placeringsanordningen innefattar en utmatningsmekanism, en sugmekanism och två förflyttningsmekanismer. De två translationsmekanismerna är placerade på framsidan respektive baksidan av linsen. Utmatningsmekanismen och sugmekanismen fördelas med rörelsen av de två förflyttningsmekanismerna. del anslutning, lägenheten

Kontakta oss:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894